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离子注入工艺的监控方法

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离子注入工艺的监控方法

面议

专利(申请号):2017113661487

专利 ID :CN108109933A

法律状态:专利权维持

更新日期:2021-09-27

所属分类:H01L21/66

委托平台办理

专利申请人:深圳市晶特智造科技有限公司

  万果交易保障

  源头对接,价格透明

  平台验证,实名审核

  合同监控,代办手续

  资金担保,风险赔付

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专利详情
一种离子注入工艺的监控方法包括:提供衬底,在衬底上形成第一氧化层;在第一氧化层上形成多晶硅层,对多晶硅层进行光刻与刻蚀,形成多个间隔设置的多晶硅区域、连接于多个多晶硅区域一端的第一多晶硅及连接多个多晶硅区域另一端的第二多晶硅,多晶硅区域的宽度沿预定方向依次增大;进行光刻及离子注入使得第一多晶硅形成饱和掺杂N型多晶硅、第二多晶硅形成注入掺杂P型多晶硅;在多晶硅区域及第一氧化层上形成绝缘层,对绝缘层进行光刻与蚀刻,形成对应多晶硅区域的多个开口,多个开口的宽度随着多晶硅区域的间距的增大而依次增大;利用多个开口以注入角度对多个多晶硅区域进行离子注入;进行热退火,激活注入的离子;及连接测试电压进行测试。

专利交易流程

Patent transaction steps

资料过户
买卖双方需提供资料
公司 个人
买家 企业营业执照
企业组织机构代码证
身份证
卖家 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件
平台提供 过户后您将获得
专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
发明人变更声明
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
常见问题

Q:专利年费如何缴纳?

A:授予专利权当年的年费,应在授予专利权通知书中指定的期限内缴纳,以后的年费应在前一年度期满前一个月内预缴。如果没按规定时间缴纳或缴纳数额不足,可在年费期满之日起6个月内补缴,同时缴纳相应数额的滞纳金。

Q:专利的有效期是多少年?

A:发明专利20年;实用新型专利10年;外观设计专利10年。

Q:购买专利的时候要注意些什么问题?

A:1、专利有效期长短。每个专利都有一定有效期,例如实用和外观有效期10年,发明是20年。购买时需要留意您所购买的专利有效期还有多久。
2、专利权人。查看专利权人是否是出售专利者,专利权人是否有多个。避免出现出售者无权销售专利,签订合同无效的情况。
3、专利类型。专利名称会有多个类似,要确认您购买的专利是哪个类型的,与合同是否一致。
4、专利目前授权使用情况。该专利是否有许可转让甚至独占许可过,这些都需要在合同中列明,避免购买了独占许可的专利,而无法使用。
5、专利是否出于有权状态。(是否存在未及时缴纳年费或者被宣布无效等情况)

Q:买的专利多久能下证?

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《手续合格通知书》。