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一种晶圆刻蚀设备

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一种晶圆刻蚀设备

面议

专利(申请号):2019107902165

专利 ID :CN110634771A

法律状态:等年登印费

更新日期:2021-09-27

所属分类:H01L21/67

委托平台办理

专利申请人:石狮市玛哗贸易有限公司

  万果交易保障

  源头对接,价格透明

  平台验证,实名审核

  合同监控,代办手续

  资金担保,风险赔付

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专利详情
本发明公开了一种晶圆刻蚀设备,其结构包括移动轮、刻蚀箱、箱盖、显示屏、控制箱,刻蚀箱底部安装有移动轮,刻蚀箱顶部设有箱盖,控制箱设在箱盖侧面并连接在刻蚀箱顶部,控制箱表面安装有显示屏,刻蚀箱内设有载物台、第一夹具、第二夹具、喷射器、气缸、Y轴导轨、X轴导轨,载物台连接在箱盖底部,载物台的底部两侧分别安装有第一夹具、第二夹具,喷射器设在载物台下方,喷射器底部与气缸相连接,气缸安装在Y轴导轨上,本发明的有益效果是:通过喷射吸回一系列快速操作,能够减少蚀刻液的停留时间,避免蚀刻液的四处流动,且从下往上射出,能够减少蚀刻液向四周流动的概率,会让蚀刻液朝下流,因此能够缩小蚀刻位置不同高度的差异。

专利交易流程

Patent transaction steps

资料过户
买卖双方需提供资料
公司 个人
买家 企业营业执照
企业组织机构代码证
身份证
卖家 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件
平台提供 过户后您将获得
专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
发明人变更声明
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
常见问题

Q:专利年费如何缴纳?

A:授予专利权当年的年费,应在授予专利权通知书中指定的期限内缴纳,以后的年费应在前一年度期满前一个月内预缴。如果没按规定时间缴纳或缴纳数额不足,可在年费期满之日起6个月内补缴,同时缴纳相应数额的滞纳金。

Q:专利的有效期是多少年?

A:发明专利20年;实用新型专利10年;外观设计专利10年。

Q:购买专利的时候要注意些什么问题?

A:1、专利有效期长短。每个专利都有一定有效期,例如实用和外观有效期10年,发明是20年。购买时需要留意您所购买的专利有效期还有多久。
2、专利权人。查看专利权人是否是出售专利者,专利权人是否有多个。避免出现出售者无权销售专利,签订合同无效的情况。
3、专利类型。专利名称会有多个类似,要确认您购买的专利是哪个类型的,与合同是否一致。
4、专利目前授权使用情况。该专利是否有许可转让甚至独占许可过,这些都需要在合同中列明,避免购买了独占许可的专利,而无法使用。
5、专利是否出于有权状态。(是否存在未及时缴纳年费或者被宣布无效等情况)

Q:买的专利多久能下证?

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《手续合格通知书》。