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一种半导体芯片的加工方法

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一种半导体芯片的加工方法

20000.00

专利(申请号):2012100042166

专利 ID :CN102522329A

法律状态:专利权维持

更新日期:2020-08-02

所属分类:H01L21/28

已售
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专利申请人:薛列龙

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专利详情
一种半导体芯片的加工方法。涉及一种无机械损伤的裂解工艺。提供了一种能高效、无机械损伤,且为后续加工提供友好衔接措施的半导体芯片的加工方法。包括以下步骤:对晶片进行扩散、设置氧化层和在氧化层上光刻窗口的工序;光刻窗口后,所述氧化层在晶片表面呈网格状;然后按以下步骤加工:1)、设置电极层;2)、一次酸蚀;3)、二次酸蚀;本发明工艺中先形成电极窗口,往晶片表面所述电极窗口上镀覆金属电极层。金属电极层在后道两次酸腐蚀过程中,基本与酸无反应。强酸与硅质的晶片本体有强烈的化学反应,并能迅速“蚀透”晶片本体,进而使得晶片按照设计形状裂解,最终制得常规手段难以获得的六角形、圆形等芯片。

专利交易流程

Patent transaction steps

资料过户
买卖双方需提供资料
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身份证
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平台提供 过户后您将获得
专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
发明人变更声明
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
常见问题

Q:专利年费如何缴纳?

A:授予专利权当年的年费,应在授予专利权通知书中指定的期限内缴纳,以后的年费应在前一年度期满前一个月内预缴。如果没按规定时间缴纳或缴纳数额不足,可在年费期满之日起6个月内补缴,同时缴纳相应数额的滞纳金。

Q:专利的有效期是多少年?

A:发明专利20年;实用新型专利10年;外观设计专利10年。

Q:购买专利的时候要注意些什么问题?

A:1、专利有效期长短。每个专利都有一定有效期,例如实用和外观有效期10年,发明是20年。购买时需要留意您所购买的专利有效期还有多久。
2、专利权人。查看专利权人是否是出售专利者,专利权人是否有多个。避免出现出售者无权销售专利,签订合同无效的情况。
3、专利类型。专利名称会有多个类似,要确认您购买的专利是哪个类型的,与合同是否一致。
4、专利目前授权使用情况。该专利是否有许可转让甚至独占许可过,这些都需要在合同中列明,避免购买了独占许可的专利,而无法使用。
5、专利是否出于有权状态。(是否存在未及时缴纳年费或者被宣布无效等情况)

Q:买的专利多久能下证?

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《手续合格通知书》。